在电子行业中,对于半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件以及各种电子器件的生产过程,超纯水设备起着至关重要的作用。这些精密的微电子工业,特别是大规模和超大规模集成电路的制造,对水质的纯净度有着极高要求。随着技术的发展,集成电路的集成度持续提升,线宽越来越细,这就意味着对水的纯度和离子含量有着更为严格的标准。
目前,我国电子工业部为确保产品质量,将电子级水质技术分为五个等级:18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm和0.5MΩ.cm。这些等级反映了水的电阻率,电阻率越高,水质越纯净,适合用于对产品质量影响重大的各个环节,如半成品和成品的清洗过程。因此,电子行业对超纯水设备的需求不仅体现在数量上,更在于其能满足精密工艺对水纯度的高要求。
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