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金属薄膜厚度怎么测量?操作难吗?

提问网友 发布时间:2022-04-20 09:35
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1个回答
热心网友 回答时间:2023-07-16 19:31
测试薄膜的厚度,根据不同的薄膜有不同的测试方法。例如:对于金属薄膜的测试,可以通过物理测试的方法来测量薄膜的厚度。其中,较为常用和准确的方法是利用FESEM(场发射扫描电镜)进行测量。此外,还可以利用X射线光电子能谱(XPS)或拉曼光谱进行分析检测。对于石墨烯、氧化铝、氧化锌等的薄膜测试,也有其他的测试方法,例如计算样品的质量,利用理论计算计算膜的密度,给出膜的厚度。

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